·2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线，目前已有上千台设备服务客户；

·2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机，目前已有上百台设备服务客户；

·今天，北方华创正式发布CCP介质刻蚀机，目前已在5家客户完成验证并实现量产！

实现刻蚀工艺全覆盖

一直以来

让您坚定选择的北方华创刻蚀产品

究竟凭借什么？

Reliable 可靠 ？

Innovative 创新 ？

Excellent 卓越 ？

背靠深厚历史积淀的NMC508系列

最近，又迎来了新成员

NMC508 RIE 介质刻蚀机

Reliable 可靠

——精研需求，赢得信赖

· 拥有8吋设备二十年工艺基础，稳扎稳打，善作善成；

· 专为8吋工艺设计的腔室与硬件，更加贴合客户，满足定制化需求；

· 6&8吋兼容，可实现快速切换；

· 目前，已在5家客户完成验证并实现量产[1]；

· 18年成熟的软件系统应用，以及稳定的备件系统，配备可靠供应链；

· 搭载全套服务团队，可为您提供包括工艺开发、零部件供应、软件升级、质保服务等在内的全方位保障，卓越的性能与服务可为您的量产保驾护航。

[1] 统计截止时间：2022年7月

Innovative 创新

——独特技术，芯雕细刻

· 在前道工艺上，具有刻蚀形貌好、选择比高、工艺性能优越的特点；在后道工艺，可实现对金属副产物的有效控制，维护周期长；
· 采用多频射频技术，具有刻蚀速率高、工艺均匀性佳、工艺窗口大等特点，可更好满足深孔小CD的应用发展趋势；
· 在晶圆传输平台系统上，采用自主研发的通用平台，拥有成熟的软件系统，并具备晶圆自动定心(AWC)功能，满足晶圆稳定传输作业的需求；
· 在腔室设计上，采用独特的防等离子打火结构和精确的电极控温设计，具备温度分区控制功能，配备终点检测系统，满足关键刻蚀工艺的均一性、终点抓取等需求，且颗粒表现佳；
· 耗材寿命长，维护便捷，可满足您拥有成本(COO)和消耗成本(COC)双低的需求。

Excellent 卓越

——引领时代，卓越不凡

· 作为CCP刻蚀机，具备在介质刻蚀上的高选择比、高刻蚀速率等优势，适用于介质类氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等膜层材料；

· 可为客户提供包括逻辑器件、功率器件、化合物半导体等在内的多种特色工艺；
· 主要应用领域包括但不限于：Logic, BCD, Power(Si/SiC/GaN), MEMS；
· 完成了该领域国产设备工艺的最后一块拼图，实现了北方华创在8吋刻蚀设备上的整体解决方案，包括硅刻蚀、深硅刻蚀、金属刻蚀、化合物半导体刻蚀(SiC, GaN, GaAs, InP, LiNbO3, LiTaO3等）等工艺设备。

- 不“止”刻蚀 -

作为一家平台型企业

北方华创还可为您提供包括PVD、CVD、ALD、炉管、清洗等在内的8吋设备，为您提供整体解决方案。

- 跨越，再跨越 -

一次次的突破，是为了更好地出发

北方华创始终坚持以精良的产品与服务，为客户创造价值，持续支撑产业发展；

始终保持对前沿科技的崇敬和探索，造就技术与解决方案的前瞻性与领先性，带给产业无限可能！


文章来源：北方华创